以衛浴設備聞名的日本TOTO,近年因其在半導體製程中扮演關鍵角色的「靜電吸盤(Electrostatic Chucks)」而備受市場關注。此一關注熱潮,亦與AI資料中心大量建置、帶動記憶體需求快速成長的產業趨勢密切相關。
根據TOTO官網介紹,該公司所開發的陶瓷材料在半導體製造設備領域中,透過空氣滑台、靜電吸盤及鍵合毛細管等高品質、高精度的陶瓷產品,獲得業界高度評價。
其中,TOTO生產的靜電吸盤是一種應用於半導體製造設備的關鍵零組件,主要利用靜電力將晶片(矽晶圓)固定於載台上,在製程過程中維持位置穩定,並有效降低粒子污染風險,對先進製程的良率與穩定性具有重要影響。
TOTO生產的靜電吸...
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